IFM壓力傳感(gan)器(qi)四(si)個無法(fa)避免的誤差(cha)IFM壓(ya)力傳感(gan)器(qi)是使(shi)用的壹(yi)種(zhong)傳感(gan)器(qi)。傳統(tǒng)(tong)的壓(ya)力傳感(gan)器(qi)以(yi)機(ji)械(xie)結(jié)(jie)構(gòu)(gou)型(xing)的器(qi)件(jian)為主,以(yi)彈性(xing)元件(jian)的形(xing)變(bian)指示(shi)壓力,但(dan)這種(zhong)結(jié)(jie)構(gòu)(gou)尺寸(cun)大、質(zhì)(zhi)量重,不(bu)能(neng)提(ti)供(gong)電學(xué)輸(shu)出(chu)。隨(sui)著半導(dǎo)體技(ji)術(shù)(shu)的發(fā)(fa)展(zhan),半導(dǎo)體壓力傳感(gan)器(qi)也應(yīng)(ying)運而生(sheng)。其特點(dian)是(shi)體積小、質(zhì)(zhi)量輕、準(zhǔn)確度高、溫(wen)度特性(xing)好。特別是隨(sui)著MEMS技(ji)術(shù)(shu)的發(fā)(fa)展(zhan),半導(dǎo)體傳感(gan)器(qi)向著微(wei)型(xing)化發(fā)(fa)展(zhan),而且其功耗(hao)小(xiao)、可(ke)靠(kao)性(xing)高。
IFM壓(ya)力傳感(gan)器(qi)四(si)個無法(fa)避免的誤差(cha)在選擇(ze)壓力傳感(gan)器(qi)的時候(hou)我們要(yao)考(kao)慮他(ta)的綜(zong)合(he)精度,而IFM壓(ya)力傳感(gan)器(qi)的精(jing)度受(shou)哪(na)些方(fang)面(mian)的影(ying)響呢(ne)?
其實(shi)造成傳感(gan)器(qi)誤差(cha)的因(yin)素(su)有很(hen)多(duo),下面(mian)我們註意(yi)說IFM壓(ya)力傳感(gan)器(qi)四(si)個無法(fa)避免的誤差(cha),這是(shi)傳感(gan)器(qi)的初(chu)始誤差(cha)。首先(xian)的偏(pian)移(yi)量誤差(cha):由(you)於壓力傳感(gan)器(qi)在整(zheng)個壓(ya)力範(fàn)(fan)圍內(nèi)(nei)垂直(zhi)偏(pian)移(yi)保(bao)持(chi)恒定,因(yin)此變(bian)換(huan)器(qi)擴散(san)和(he)激(ji)光(guang)調(diào)(tiao)節(jié)(jie)修(xiu)正(zheng)的變(bian)化將產(chǎn)生(sheng)偏(pian)移(yi)量誤差(cha)。
其次是(shi)靈(ling)敏度誤差(cha):產(chǎn)生(sheng)誤差(cha)大小與壓(ya)力成正(zheng)比。如(ru)果設(shè)備的靈(ling)敏(min)度高於(yu)典(dian)型(xing)值(zhi),靈(ling)敏度誤差(cha)將是壓(ya)力的遞(di)增(zeng)函數(shù)(shu)。如果靈敏度低(di)於典(dian)型(xing)值(zhi),那(na)麼靈敏(min)度誤差(cha)將是壓(ya)力的遞(di)減(jian)函數(shù)(shu)。該誤差(cha)的產(chǎn)生(sheng)原(yuan)因(yin)在於(yu)擴散(san)過(guo)程(cheng)的變(bian)化。
第(di)三是線(xian)性(xing)誤差(cha):這是(shi)壹(yi)個(ge)對(dui)壓力傳感(gan)器(qi)初始誤差(cha)影(ying)響較小的因(yin)素(su),該誤差(cha)的產(chǎn)生(sheng)原(yuan)因(yin)在於(yu)矽片的物(wu)理非線(xian)性(xing),但(dan)對(dui)於帶(dai)放(fang)大器的傳感(gan)器(qi),還(hai)應(yīng)包括(kuo)放大器的非線(xian)性(xing)。線(xian)性(xing)誤差(cha)曲(qu)線(xian)可(ke)以(yi)是(shi)凹(ao)形曲線(xian),也(ye)可(ke)以(yi)是(shi)凸形曲(qu)線(xian)稱(cheng)重傳感(gan)器(qi)。
zui後(hou)是(shi)滯(zhi)後(hou)誤差(cha):在大多(duo)數(shù)(shu)情(qing)形(xing)中,壓(ya)力傳感(gan)器(qi)的滯(zhi)後(hou)誤差(cha)*可(ke)以(yi)忽略(lve)不(bu)計,因為矽(gui)片具有很高的機(ji)械(xie)剛度。壹般(ban)只需(xu)在壓(ya)力變(bian)化很(hen)大的情(qing)形(xing)中考(kao)慮滯(zhi)後(hou)誤差(cha)。
IFM壓(ya)力傳感(gan)器(qi)的這個(ge)四(si)個誤差(cha)是(shi)無法(fa)避免的,我們只能(neng)選擇(ze)高精(jing)度的生(sheng)產(chǎn)設(shè)(she)備,利用優(yōu)(you)良(liang)技(ji)術(shù)(shu)來降低(di)這些誤差(cha),還(hai)可(ke)以(yi)在出(chu)廠(chang)的時候(hou)進行(xing)壹點(dian)的誤差(cha)校準(zhǔn),盡(jin)zui大的可(ke)能(neng)來降低(di)誤差(cha)以(yi)滿足(zu)客(ke)戶的需(xu)要(yao)。
IFM壓力傳感(gan)器(qi)正(zheng)確安(an)裝方(fang)法(fa):
(1) 通(tong)過適(shi)當(dāng)?shù)膬x表, 在普通(tong)大氣壓和標(biāo)準(zhǔn)溫(wen)度條件(jian)下,核實(shi)壓(ya)力傳感(gan)器(qi)的頻(pin)率(lv)反(fan)應(yīng)(ying)值(zhi)。
(2) 核實(shi)壓(ya)力傳感(gan)器(qi)的編碼(ma)與相(xiang)應(yīng)的頻(pin)率(lv)反(fan)應(yīng)(ying)信(xin)號(hao)的正(zheng)確性(xing)。
2. 確定具體安(an)裝位置(zhi)
為了確定壓(ya)力傳感(gan)器(qi)的編號(hao)和(he)具體安(an)裝位置(zhi), 需按(an)充(chong)氣網(wǎng)的各(ge)個充(chong)氣段來考(kao)慮。
(1) IFM壓(ya)力傳感(gan)器(qi)必須(xu)沿著線(xian)纜進行(xing)安(an)裝, 安(an)裝在線(xian)纜接頭處(chu)。
(2) 每條線(xian)纜裝設(shè)(she)壓力傳感(gan)器(qi)不(bu)少於4個, 靠(kao)近局(ju)的兩(liang)個壓(ya)力傳感(gan)器(qi), 相距不(bu)應(yīng)大幹(gan)200m。
(3) 每條線(xian)纜的始端(duan)和(he)末端(duan)分(fen)別(bie)安(an)裝1個(ge)。
(4) 每條線(xian)纜的分(fen)支(zhi)點(dian)應(yīng)(ying)裝1個, 如果(guo)兩(liang)個分(fen)支(zhi)點(dian)相(xiang)距較近(小(xiao)於100 m),可(ke)只裝(zhuang)1個(ge)。
(5) 線(xian)纜敷設(shè)(she)方(fang)式(shi)(架空、地(di)下)改變處(chu)應(yīng)(ying)裝1個(ge)
(6) 對(dui)無分(fen)支的線(xian)纜, 因壘線(xian)的線(xian)纜程式(shi)壹致, 壓力傳感(gan)器(qi)的安(an)裝隔距不(bu)大幹(gan)500m, 並(bing)使其總(zong)數(shù)不(bu)少於4個。
(7) 為了便於(yu)確定壓(ya)力傳感(gan)器(qi)故(gu)障點(dian), 除(chu)在起(qi)點(dian)安(an)裝壓(ya)力傳感(gan)器(qi)外,距起(qi)點(dian)150~200m處(chu),還(hai)要(yao)另外安(an)裝1個(ge)當(dāng)然(ran)在設(shè)(she)計中, 壹(yi)定要(yao)考(kao)慮經(jīng)(jing)濟與技(ji)術(shù)(shu)的因(yin)素(su), 在不(bu)需要(yao)安(an)裝壓(ya)力傳感(gan)器(qi)的地(di)方(fang),則(ze)應(yīng)不(bu)必安(an)裝。
傳感(gan)器(qi)的接線(xian)壹(yi)向(xiang)是客(ke)戶采(cai)購過(guo)程(cheng)咨詢(xun)得zui多(duo)的問(wen)題之(zhi)壹(yi),很(hen)多(duo)客(ke)戶都(dou)不(bu)知道(dao)傳感(gan)器(qi)如何連線(xian),其實(shi)各(ge)種(zhong)傳感(gan)器(qi)的接線(xian)方(fang)式(shi)基本(ben)都(dou)是(shi)壹(yi)樣的,壓(ya)力傳感(gan)器(qi)壹般(ban)有兩(liang)線(xian)制、三線(xian)制、四(si)線(xian)制,有的還(hai)有五線(xian)制的。
IFM壓(ya)力傳感(gan)器(qi)兩(liang)線(xian)制比較簡單,壹(yi)般客(ke)戶都(dou)知(zhi)道(dao)怎麼接線(xian),壹(yi)根(gen)線(xian)連接電源(yuan)正(zheng)極(ji),另壹(yi)個(ge)線(xian)也(ye)就(jiu)是(shi)信號(hao)線(xian)經(jīng)(jing)過儀器連接到(dao)電源(yuan)負(fù)(fu)極(ji),這種(zhong)是(shi)zui簡單的,IFM壓(ya)力傳感(gan)器(qi)三線(xian)制是在兩(liang)線(xian)制基礎(chǔ)上加了壹個線(xian),這根(gen)線(xian)直(zhi)接連接到(dao)電源(yuan)的負(fù)(fu)極(ji),較兩(liang)線(xian)制麻煩(fan)壹(yi)點(dian)。四(si)線(xian)制壓力傳感(gan)器(qi)肯定是(shi)兩(liang)個電源(yuan)輸(shu)入端,另外兩(liang)個是(shi)信(xin)號(hao)輸(shu)出(chu)端(duan)。四(si)線(xian)制的多(duo)半是電壓(ya)輸(shu)出(chu)而(er)不(bu)是4~20mA輸(shu)出(chu),4~20mA的叫壓力變(bian)送(song)器,多(duo)數(shù)(shu)做(zuo)成兩(liang)線(xian)制的。壓(ya)力傳感(gan)器(qi)的信(xin)號(hao)輸(shu)出(chu)有(you)些是(shi)沒(mei)有(you)經(jīng)(jing)過放大的,滿量程輸(shu)出(chu)只(zhi)有幾(ji)十毫(hao)伏,而(er)有些壓(ya)力傳感(gan)器(qi)在內(nèi)(nei)部(bu)有放大電路,滿量程輸(shu)出(chu)為0~2V。至於怎麼接到(dao)顯(xian)示(shi)儀表,要(yao)看儀表的量程是(shi)多(duo)大,如果有(you)和(he)輸(shu)出(chu)信(xin)號(hao)相(xiang)適應(yīng)的檔(dang)位,就(jiu)可(ke)以(yi)直(zhi)接測(ce)量,否則(ze)要(yao)加信(xin)號(hao)調(diào)(tiao)整(zheng)電路。五(wu)線(xian)制壓力傳感(gan)器(qi)與四(si)線(xian)制相差不(bu)大,市面(mian)上五線(xian)制的傳感(gan)器(qi)也比(bi)較少。