德(de)國(guó)HYDAC賀(he)德(de)克(ke)壓(ya)力(li)傳(chuan)感器(qi)壓(ya)力(li)如(ru)何輸(shu)出(chu)
德(de)國(guó)HYDAC賀(he)德(de)克(ke)壓(ya)力(li)傳(chuan)感器(qi)將壓(ya)力(li)(壹般(ban)指液體(ti)或氣(qi)體(ti)的壓(ya)力(li))轉(zhuǎn)(zhuan)換(huan)為電(dian)信(xin)號(hào)(hao)輸(shu)出(chu),
該壓(ya)力(li)電(dian)信(xin)號(hào)(hao)也可進(jìn)(jin)而用於測(cè)量(liang)靜態(tài)(tai)流(liu)體(ti)的液(ye)位,因(yin)此(ci)可用(yong)來(lái)測(cè)量(liang)液位。
賀德(de)克(ke)壓(ya)力(li)傳(chuan)感器(qi)的敏(min)感組件(jian)主(zhu)要(yao)有矽杯(bei)敏(min)感元件(jian)、矽油、隔(ge)離(li)膜片(pian)和導(dǎo)氣(qi)管組(zu)成,
被測(cè)介質(zhì)壓力(li)P通過(guò)(guo)隔(ge)離(li)片(pian)和矽油傳(chuan)遞到(dao)矽杯(bei)元(yuan)件(jian)的壹-側(cè)(見(jiàn)圖) ,大氣(qi)參(can)考?jí)?ya)po通過(guò)(guo)導(dǎo)氣(qi)管作(zuo)用(yong)到(dao)矽杯(bei)元(yuan)件(jian)的另(ling)- -
側(cè)(ce),矽杯(bei)元(yuan)件(jian)是(shi)壹個(gè)(ge)底(di)部加(jia)工(gong) 得(de)很(hen)薄的杯(bei)形(xing)單晶(jing)矽片(pian)。
杯(bei)底(di)膜片(pian)在(zai)壓力(li)P和Po做(zuo)用下(xia)產(chǎn)生位移極(ji)小(xiao)的彈(dan)性(xing)變(bian)形(xing),單晶(jing)矽是理(li)想的彈(dan)性(xing)體(ti),
變(bian)形(xing)與壓力(li)成嚴(yán)(yan)格的正(zheng)比關(guān)系,而且(qie)復(fù)(fu)原性(xing)能(neng)又(you)好(hao)。
矽膜片(pian)_上用半(ban)導(dǎo)體(ti)擴(kuò)(kuo)散(san)工(gong)藝(yi)形(xing)成的四(si)個(gè)(ge)橋(qiao)路(lu)電(dian)阻(zu)布(bu)置(zhi)成方(fang)形(xing),當(dāng)矽膜片(pian)受(shou)到(dao)壓力產(chǎn)生變(bian)形(xing)時(shí),
處?kù)?yu)對(duì)角(jiao)線(xiàn)(xian)上的二(er)電(dian)阻(zu)受(shou)壓(ya)應(yīng)(ying)力,而另為二(er)個(gè)(ge)電(dian)阻(zu)受(shou)張應(yīng)(ying)力,由於擴(kuò)(kuo)散(san)矽的壓(ya)阻(zu)效(xiao)應(yīng)(ying),
使(shi)相對(duì)(dui)的二(er)個(gè)(ge)電(dian)阻(zu)阻(zu)值增(zeng)大,二(er)另為二(er)個(gè)(ge)電(dian)阻(zu)阻(zu)值減小(xiao)。
如(ru)果(guo)在(zai)A-A二(er)端上加(jia)上(shang)電(dian)壓(ya),則(ze)C-D間(jian)就有(you)壹個(gè)(ge)P-Po差(cha)壓(ya)成正(zheng)比的電(dian)壓(ya)信(xin)號(hào)(hao)輸(shu)出(chu)
德(de)國(guó)HYDAC賀(he)德(de)克(ke)壓(ya)力(li)傳(chuan)感器(qi)如(ru)何輸(shu)出(chu)
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