在選(xuan)擇(ze)壓(ya)力傳(chuan)感器的時(shí)(shi)候(hou)我們(men)要考慮他的綜(zong)合精度,而壓(ya)力傳(chuan)感器的精度受哪(na)些方面的影響呢?其實(shí)(shi)造成傳(chuan)感器誤(wu)差(cha)的因(yin)素(su)有很(hen)多(duo),下面我(wo)們?cè)]意(yi)說(shuō)四個(gè)無(wú)法避(bi)免(mian)的誤(wu)差(cha),這是(shi)傳(chuan)感器的初(chu)始(shi)誤(wu)差(cha)。
首(shou)先的偏(pian)移量誤(wu)差(cha):由於壓(ya)力傳(chuan)感器在整個(gè)壓力範(fàn)(fan)圍(wei)內(nèi)(nei)垂(chui)直(zhi)偏(pian)移保(bao)持恒(heng)定(ding),因(yin)此變(bian)換(huan)器擴(kuò)(kuo)散和(he)激(ji)光調(diào)節(jié)修(xiu)正(zheng)的變(bian)化將(jiang)產(chǎn)生(sheng)偏(pian)移量誤(wu)差(cha)。
其次是(shi)靈(ling)敏(min)度誤(wu)差(cha):產(chǎn)生(sheng)誤(wu)差(cha)大小與(yu)壓(ya)力成正(zheng)比(bi)。如果(guo)設(shè)備(bei)的靈敏(min)度高(gao)於(yu)典(dian)型(xing)值(zhi),靈敏(min)度誤(wu)差(cha)將是(shi)壓(ya)力的遞增函數(shù)。如果(guo)靈敏(min)度低於典(dian)型(xing)值(zhi),那(na)麼(me)靈(ling)敏(min)度誤(wu)差(cha)將是(shi)壓(ya)力的遞減(jian)函數(shù)。該誤(wu)差(cha)的產(chǎn)生(sheng)原(yuan)因(yin)在於擴(kuò)(kuo)散過(guò)程(cheng)的變(bian)化。
第(di)三(san)是(shi)線(xian)性誤(wu)差(cha):這是(shi)壹個(gè)對(duì)壓力傳(chuan)感器初(chu)始(shi)誤(wu)差(cha)影響較小的因(yin)素(su),該誤(wu)差(cha)的產(chǎn)生(sheng)原(yuan)因(yin)在於矽(gui)片的物(wu)理非線(xian)性,但對(duì)於帶放大器的傳(chuan)感器,還應(yīng)(ying)包括放大器的非線(xian)性。線(xian)性誤(wu)差(cha)曲線(xian)可以(yi)是(shi)凹(ao)形曲(qu)線(xian),也可以(yi)是(shi)凸形曲(qu)線(xian)稱重(zhong)傳(chuan)感器。
後(hou)是(shi)滯(zhi)後(hou)誤(wu)差(cha):在大多(duo)數(shù)情形中(zhong),壓(ya)力傳(chuan)感器的滯後(hou)誤(wu)差(cha)*可以(yi)忽(hu)略(lve)不(bu)計(jì),因(yin)為矽(gui)片具有很高(gao)的機(jī)(ji)械(xie)剛度。壹般只需(xu)在壓力變(bian)化很(hen)大的情形中(zhong)考慮滯(zhi)後(hou)誤(wu)差(cha)。
壓力傳(chuan)感器的這個(gè)四個(gè)誤(wu)差(cha)是(shi)無(wú)(wu)法避(bi)免(mian)的,我們(men)只能(neng)選(xuan)擇(ze)高(gao)精度的生產(chǎn)(chan)設(shè)備(bei),利用(yong)優(yōu)(you)良(liang)技(ji)術(shù)(shu)來(lái)降(jiang)低這些誤(wu)差(cha),還可以(yi)在出廠(chang)的時(shí)(shi)候(hou)進(jìn)(jin)行(xing)壹定(ding)的誤(wu)差(cha)校準(zhǔn),盡(jin)大的可能(neng)來(lái)降(jiang)低誤(wu)差(cha)以(yi)滿(man)足(zu)客戶(hu)的需要。
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力士(shi)樂(lè)rexroch電磁(ci)閥(fa)運(yùn)行(xing)時(shí)(shi)在什(shen)麼(me)情(qing)況下會(huì)(hui)導(dǎo)(dao)致失靈(ling)